等离子增强 CVD（PECVD）
PECVD-8-16 批量晶圆 PECVD 中试系统
型号PECVD-8-16
电容耦合等离子沉积系统采用多槽石墨舟，可在加热石英管内单批处理最多 12 片 6 英寸晶圆。
晶圆容量
12 片 6 英寸晶圆
工作温度
400–1100 °C
加热区
3 × 300 mm；均温区 600 mm（±2 °C）
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
技术数据
技术规格
规格按系统分组，便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 晶圆容量 | 12 片 6 英寸晶圆 |
|---|---|
| 工作温度 | 400–1100 °C |
| 加热区 | 3 × 300 mm；均温区 600 mm（±2 °C） |
| 射频等离子源 | 20–1000 W; 13.56 MHz |
| 气体控制 | 4 路 MFC；±1.5% FS |
规格可能随配置和定制要求变化，最终数据以确认后的报价为准。
产品详情
需另行配置兼容的真空泵。
订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件，供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家，报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
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