等离子增强 CVD（PECVD）
OTF-1200X-S50-PESL 紧凑滑动式 PECVD 管式炉
型号OTF-1200X-S50-PESL
电动滑动等离子 CVD 炉使固定样品进入预热温区，结合紧凑石英管、射频等离子与机械抽气。
工作温度
连续 1100 °C；1200 °C 使用少于 60 分钟
石英管
外径 2 × 内径 1.7 × 长 39.4 英寸
加热区
200 mm；均温区 60 mm
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
技术数据
技术规格
规格按系统分组，便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 工作温度 | 连续 1100 °C；1200 °C 使用少于 60 分钟 |
|---|---|
| 石英管 | 外径 2 × 内径 1.7 × 长 39.4 英寸 |
| 加热区 | 200 mm；均温区 60 mm |
| 射频等离子源 | 5–300 W; 13.56 MHz |
| 系统尺寸 | 1500 × 600 × 1200 mm |
规格可能随配置和定制要求变化，最终数据以确认后的报价为准。
产品详情
订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件，供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家，报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
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