الترسيب الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)

OTF-1200X-S50-PESL Compact Sliding PECVD Tube Furnace

Name: OTF-1200X-S50-PESL Compact Sliding PECVD Tube Furnace | LabSova
Brand: LabSova
SKU: OTF-1200X-S50-PESL

النموذجOTF-1200X-S50-PESL

A motor-sliding plasma CVD furnace exposes a fixed sample to a preheated zone, combining a compact quartz tube with RF plasma and mechanical pumping.

Operating temperature 1100 °C continuous; 1200 °C for <60 min

Quartz tube 2 in OD x 1.7 in ID x 39.4 in L

Heating zone 200 mm; uniform zone 60 mm

طلب عرض سعر عرض المواصفات

يتم تأكيد التكوين النهائي قبل عرض السعر
تتم مراجعة التخصيص والملحقات حسب التطبيق
تتوفر تعبئة التصدير والوثائق عند الطلب

اتصال فني مباشر

Email [email protected] WhatsApp +86 195 2233 7956 WeChat 195 2233 7956

بيانات فنية

المواصفات الفنية

تُنظم المواصفات حسب النظام حتى تعرض أنواع المعدات المختلفة المعايير المهمة لتطبيقها.

Key specifications

Operating temperature	1100 °C continuous; 1200 °C for <60 min
Quartz tube	2 in OD x 1.7 in ID x 39.4 in L
Heating zone	200 mm; uniform zone 60 mm
RF plasma source	5–300 W; 13.56 MHz
System dimensions	1500 x 600 x 1200 mm

قد تتغير المواصفات حسب التكوين والتخصيص. تخضع البيانات النهائية للعرض المؤكد.

وصف المنتج

Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.

استفسار المنتج