الترسيب الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)

OTF-1200X-II-PEC4 Rotary Plasma-Enhanced Hybrid CVD Furnace

Name: OTF-1200X-II-PEC4 Rotary Plasma-Enhanced Hybrid CVD Furnace | LabSova
Brand: LabSova
SKU: OTF-1200X-II-PEC4

النموذجOTF-1200X-II-PEC4

A rotary two-zone furnace combines RF plasma, solid-source evaporation and four-gas delivery for powder surface-coating research. Tube, drive and flange configurations are confirmed per order.

Operating temperature 1100 °C continuous; 1200 °C for <1 h

Heating zones 2 x 200 mm; 400 mm total

RF plasma source 5–300 W; 13.56 MHz

طلب عرض سعر عرض المواصفات

يتم تأكيد التكوين النهائي قبل عرض السعر
تتم مراجعة التخصيص والملحقات حسب التطبيق
تتوفر تعبئة التصدير والوثائق عند الطلب

اتصال فني مباشر

Email [email protected] WhatsApp +86 195 2233 7956 WeChat 195 2233 7956

بيانات فنية

المواصفات الفنية

تُنظم المواصفات حسب النظام حتى تعرض أنواع المعدات المختلفة المعايير المهمة لتطبيقها.

Key specifications

Operating temperature	1100 °C continuous; 1200 °C for <1 h
Heating zones	2 x 200 mm; 400 mm total
RF plasma source	5–300 W; 13.56 MHz
Gas control	4 MFC channels: 0–100, 0–200, 0–200, 0–500 sccm
Evaporation source	0.7 mL alumina crucible; 500 W DC supply

قد تتغير المواصفات حسب التكوين والتخصيص. تخضع البيانات النهائية للعرض المؤكد.

وصف المنتج

Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.

استفسار المنتج