OTF-1200X-II-PEC4 Rotary Plasma-Enhanced Hybrid CVD Furnace
A rotary two-zone furnace combines RF plasma, solid-source evaporation and four-gas delivery for powder surface-coating research. Tube, drive and flange configurations are confirmed per order.
- Configuração final confirmada antes da cotação
- Personalização e acessórios revisados pela aplicação
- Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Especificações técnicas
As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.
Key specifications
| Operating temperature | 1100 °C continuous; 1200 °C for <1 h |
|---|---|
| Heating zones | 2 x 200 mm; 400 mm total |
| RF plasma source | 5–300 W; 13.56 MHz |
| Gas control | 4 MFC channels: 0–100, 0–200, 0–200, 0–500 sccm |
| Evaporation source | 0.7 mL alumina crucible; 500 W DC supply |
As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.
Descrição do produto
Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.
Para compradores internacionais, a confirmação pode incluir configuração, acessórios, embalagem, documentos de exportação, fotos ou vídeos de inspeção e termos de envio.
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