OTF-1200X-II-PEC4SL-LD Sliding Multi-Zone PECVD Workstation
An integrated PECVD workstation combines sliding heating zones, four-channel mass-flow gas control and vacuum pumping. Tube diameter and zone count depend on the selected configuration.
- Configuração final confirmada antes da cotação
- Personalização e acessórios revisados pela aplicação
- Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Especificações técnicas
As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.
Key specifications
| Continuous temperature | 1100 °C |
|---|---|
| Tube and zone options | 50/80 mm OD: 2 zones; 130 mm OD: 3 zones |
| RF plasma source | 5–300 W; 13.56 MHz |
| Gas flow control | 4 MFC channels; ±1.5% FS |
| System vacuum | Approximately 10^-2 Torr |
As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.
Descrição do produto
Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.
Para compradores internacionais, a confirmação pode incluir configuração, acessórios, embalagem, documentos de exportação, fotos ou vídeos de inspeção e termos de envio.
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