Плазмохимическое осаждение (PECVD)

OTF-1200X-II-PEC4SL-LD Sliding Multi-Zone PECVD Workstation

Name: OTF-1200X-II-PEC4SL-LD Sliding Multi-Zone PECVD Workstation | LabSova
Brand: LabSova
SKU: OTF-1200X-II-PEC4SL-LD

МодельOTF-1200X-II-PEC4SL-LD

An integrated PECVD workstation combines sliding heating zones, four-channel mass-flow gas control and vacuum pumping. Tube diameter and zone count depend on the selected configuration.

Continuous temperature 1100 °C

Tube and zone options 50/80 mm OD: 2 zones; 130 mm OD: 3 zones

RF plasma source 5–300 W; 13.56 MHz

Запросить предложение Смотреть спецификации

Финальная конфигурация подтверждается до предложения
Настройка и аксессуары проверяются по применению
Экспортная упаковка и документация доступны по запросу

Прямой технический контакт

Email [email protected] WhatsApp +86 195 2233 7956 WeChat 195 2233 7956

Технические данные

Технические спецификации

Спецификации организованы по системам, чтобы разные типы оборудования показывали важные для применения параметры.

Key specifications

Continuous temperature	1100 °C
Tube and zone options	50/80 mm OD: 2 zones; 130 mm OD: 3 zones
RF plasma source	5–300 W; 13.56 MHz
Gas flow control	4 MFC channels; ±1.5% FS
System vacuum	Approximately 10^-2 Torr

Спецификации могут изменяться в зависимости от конфигурации и настройки. Окончательные данные зависят от подтвержденного предложения.

Описание товара

Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.

Запрос по продукту

Запросить коммерческое предложение

Укажите предполагаемое применение, требуемую конфигурацию, количество и пункт назначения.

Для точного предложения укажите:

Материал, процесс и целевой результат
Производительность, рабочий диапазон и нужные аксессуары
Страну назначения, напряжение и ожидаемое количество

Имя * Рабочая эл. почта * Компания Страна / регион Телефон / WhatsApp Предпочтительный контакт Требование * Проверка безопасности *

5 + 8 = ?

Детали закупки можно подтвердить до заказа.

Для международных покупателей подтверждение может включать конфигурацию, аксессуары, упаковку, экспортные документы, фото или видео инспекции и условия доставки.

Подтвердить требования

Связанное оборудование