等离子增强 CVD（PECVD）
OTF-1200X-II-PEC4SL-LD 滑动多温区 PECVD 工作站
型号OTF-1200X-II-PEC4SL-LD
一体化 PECVD 工作站结合滑动加热区、四路质量流量供气和真空抽气。炉管直径和温区数量取决于所选配置。
连续工作温度
1100 °C
炉管与温区选项
外径 50/80 mm：2 温区；外径 130 mm：3 温区
射频等离子源
5–300 W; 13.56 MHz
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
技术数据
技术规格
规格按系统分组，便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 连续工作温度 | 1100 °C |
|---|---|
| 炉管与温区选项 | 外径 50/80 mm：2 温区；外径 130 mm：3 温区 |
| 射频等离子源 | 5–300 W; 13.56 MHz |
| 气流控制 | 4 路 MFC；±1.5% FS |
| 系统真空度 | 约 10^-2 Torr |
规格可能随配置和定制要求变化，最终数据以确认后的报价为准。
产品详情
订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件，供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家，报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
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