الترسيب الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)

OTF-1200X-II-PEC4SL-LD Sliding Multi-Zone PECVD Workstation

Name: OTF-1200X-II-PEC4SL-LD Sliding Multi-Zone PECVD Workstation | LabSova
Brand: LabSova
SKU: OTF-1200X-II-PEC4SL-LD

النموذجOTF-1200X-II-PEC4SL-LD

An integrated PECVD workstation combines sliding heating zones, four-channel mass-flow gas control and vacuum pumping. Tube diameter and zone count depend on the selected configuration.

Continuous temperature 1100 °C

Tube and zone options 50/80 mm OD: 2 zones; 130 mm OD: 3 zones

RF plasma source 5–300 W; 13.56 MHz

طلب عرض سعر عرض المواصفات

يتم تأكيد التكوين النهائي قبل عرض السعر
تتم مراجعة التخصيص والملحقات حسب التطبيق
تتوفر تعبئة التصدير والوثائق عند الطلب

اتصال فني مباشر

Email [email protected] WhatsApp +86 195 2233 7956 WeChat 195 2233 7956

بيانات فنية

المواصفات الفنية

تُنظم المواصفات حسب النظام حتى تعرض أنواع المعدات المختلفة المعايير المهمة لتطبيقها.

Key specifications

Continuous temperature	1100 °C
Tube and zone options	50/80 mm OD: 2 zones; 130 mm OD: 3 zones
RF plasma source	5–300 W; 13.56 MHz
Gas flow control	4 MFC channels; ±1.5% FS
System vacuum	Approximately 10^-2 Torr

قد تتغير المواصفات حسب التكوين والتخصيص. تخضع البيانات النهائية للعرض المؤكد.

وصف المنتج

Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.

استفسار المنتج