OTF-1200X-II-PEC4SL-LD Sliding Multi-Zone PECVD Workstation
An integrated PECVD workstation combines sliding heating zones, four-channel mass-flow gas control and vacuum pumping. Tube diameter and zone count depend on the selected configuration.
- Configuración final confirmada antes de cotizar
- Personalización y accesorios revisados según la aplicación
- Embalaje de exportación y documentación disponibles bajo solicitud
Especificaciones técnicas
Las especificaciones se organizan por sistema para que diferentes tipos de equipos presenten los parámetros relevantes para su aplicación.
Key specifications
| Continuous temperature | 1100 °C |
|---|---|
| Tube and zone options | 50/80 mm OD: 2 zones; 130 mm OD: 3 zones |
| RF plasma source | 5–300 W; 13.56 MHz |
| Gas flow control | 4 MFC channels; ±1.5% FS |
| System vacuum | Approximately 10^-2 Torr |
Las especificaciones pueden cambiar según configuración y personalización. Los datos finales están sujetos a la cotización confirmada.
Descripción del producto
Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.
Para compradores internacionales, la confirmación puede incluir configuración, accesorios, embalaje, documentos de exportación, fotos o videos de inspección y términos de envío.
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