设备分类
等离子增强 CVD（PECVD）
等离子辅助管式炉、旋转粉末系统、批量晶圆反应器和射频源。
12 个可选产品
OTF-1200X-II-PEC4 旋转等离子增强复合 CVD 炉
OTF-1200X-S50-PESL 紧凑滑动式 PECVD 管式炉
OTF-1200X-S-II-PECVD 紧凑旋转粉末 PECVD 炉
OTF1200XSDFPESL 双滑动 PECVD 沉积炉
OTF-1200X-II-50-PEMSL 带预热器的自动滑动 PECVD 炉
OTF-1200X-II-PEC4SL-LD 滑动多温区 PECVD 工作站
OTF-1200X-PEC4LV 四路气体 PECVD 管式炉
OTF-1200X-III-R5-PECVD 连续进出料旋转粉末 PECVD 炉
OTF-1200X-S-II-PEC4 紧凑旋转复合等离子 CVD 系统
OTF-1200X-II-PE-RR 卷对卷等离子 CVD 炉
PECVD-8-16 批量晶圆 PECVD 中试系统
OTF-PECVD-RF 管式炉用射频等离子发生器
如何比较这个分类
先明确工艺需求，再比较工作范围、腔体或工作尺寸、控制精度、附件、公用条件和运输限制。
- 确认材料、样品尺寸和目标结果。
- 检查电压、安装空间和公用条件要求。
- 确认附件、备件、包装和文件范围。