等离子增强 CVD（PECVD）
OTF-PECVD-RF 管式炉用射频等离子发生器
型号OTF-PECVD-RF
用于兼容管式炉的射频发生器及匹配组件，可扩展实验室等离子刻蚀、清洗和等离子辅助沉积功能。
输出功率
5–300 W；稳定度 ±1%
射频频率
13.56 MHz；稳定度 ±0.005%
阻抗匹配
自动
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
技术数据
技术规格
规格按系统分组，便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 输出功率 | 5–300 W；稳定度 ±1% |
|---|---|
| 射频频率 | 13.56 MHz；稳定度 ±0.005% |
| 阻抗匹配 | 自动 |
| 炉管直径选项 | 外径 50、80 或 125 mm |
| 供电 | 208–240 V AC; 50/60 Hz |
规格可能随配置和定制要求变化，最终数据以确认后的报价为准。
产品详情
订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件，供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家，报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
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