等离子增强 CVD（PECVD）
OTF-1200X-III-R5-PECVD 连续进出料旋转粉末 PECVD 炉
型号OTF-1200X-III-R5-PECVD
旋转等离子 CVD 炉配自动粉末供给和密封收集，用于表面包覆及核壳颗粒研究，通过转速和倾角调节粉末在热区中的移动。
工作温度
工作温度 ≤1100 °C；最高 1200 °C
加热区
150 + 300 + 150 mm
转速与倾角
2–10 rpm; 0–15°
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
技术数据
技术规格
规格按系统分组，便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 工作温度 | 工作温度 ≤1100 °C；最高 1200 °C |
|---|---|
| 加热区 | 150 + 300 + 150 mm |
| 转速与倾角 | 2–10 rpm; 0–15° |
| 粉末装载量 | 翻动容积 5 L；建议装料 1–1.25 L |
| 射频等离子源 | 5–300 W; 13.56 MHz |
| 粉末供料速度 | 估计 0–97 mL/min |
规格可能随配置和定制要求变化，最终数据以确认后的报价为准。
产品详情
订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件，供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家，报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
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