OTF-1200X-S50-PESL Compact Sliding PECVD Tube Furnace
A motor-sliding plasma CVD furnace exposes a fixed sample to a preheated zone, combining a compact quartz tube with RF plasma and mechanical pumping.
- Configuration finale confirmée avant devis
- Personnalisation et accessoires étudiés selon l’application
- Emballage export et documentation disponibles sur demande
Spécifications techniques
Les spécifications sont organisées par système afin de présenter les paramètres pertinents pour chaque équipement.
Key specifications
| Operating temperature | 1100 °C continuous; 1200 °C for <60 min |
|---|---|
| Quartz tube | 2 in OD x 1.7 in ID x 39.4 in L |
| Heating zone | 200 mm; uniform zone 60 mm |
| RF plasma source | 5–300 W; 13.56 MHz |
| System dimensions | 1500 x 600 x 1200 mm |
Les spécifications peuvent varier selon la configuration. Les données finales dépendent du devis confirmé.
Description du produit
Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.
Pour les acheteurs internationaux, la confirmation du devis peut inclure configuration, accessoires, emballage, documents export, photos ou vidéos d’inspection et conditions d’expédition.
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