Плазмохимическое осаждение (PECVD)

PECVD-8-16 Batch Wafer PECVD Pilot System

Name: PECVD-8-16 Batch Wafer PECVD Pilot System | LabSova
Brand: LabSova
SKU: PECVD-8-16

МодельPECVD-8-16

A capacitively coupled plasma deposition system uses a multi-slot graphite boat to process up to twelve 6-inch wafers in one heated quartz-tube batch.

Wafer capacity 12 x 6 in wafers

Working temperature 400–1100 °C

Heating zones 3 x 300 mm; uniform zone 600 mm (±2 °C)

Запросить предложение Смотреть спецификации

Финальная конфигурация подтверждается до предложения
Настройка и аксессуары проверяются по применению
Экспортная упаковка и документация доступны по запросу

Прямой технический контакт

Email [email protected] WhatsApp +86 195 2233 7956 WeChat 195 2233 7956

Технические данные

Технические спецификации

Спецификации организованы по системам, чтобы разные типы оборудования показывали важные для применения параметры.

Key specifications

Wafer capacity	12 x 6 in wafers
Working temperature	400–1100 °C
Heating zones	3 x 300 mm; uniform zone 600 mm (±2 °C)
RF plasma source	20–1000 W; 13.56 MHz
Gas control	4 MFC channels; ±1.5% FS

Спецификации могут изменяться в зависимости от конфигурации и настройки. Окончательные данные зависят от подтвержденного предложения.

Описание товара

A compatible vacuum pump is required and is specified separately.

Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.

Запрос по продукту

Запросить коммерческое предложение

Укажите предполагаемое применение, требуемую конфигурацию, количество и пункт назначения.

Для точного предложения укажите:

Материал, процесс и целевой результат
Производительность, рабочий диапазон и нужные аксессуары
Страну назначения, напряжение и ожидаемое количество

Имя * Рабочая эл. почта * Компания Страна / регион Телефон / WhatsApp Предпочтительный контакт Требование * Проверка безопасности *

3 + 5 = ?

Детали закупки можно подтвердить до заказа.

Для международных покупателей подтверждение может включать конфигурацию, аксессуары, упаковку, экспортные документы, фото или видео инспекции и условия доставки.

Подтвердить требования

Связанное оборудование