薄膜沉积设备
VTC-600-3HD-GB 手套箱集成三源磁控溅射系统
型号VTC-600-3HD-GB
三组 2 英寸溅射源与净化手套箱集成，用于空气敏感材料的操作及镀膜。
手套箱腔体
1200 × 740 × 900 mm
净化气氛
O2 <1 ppm; H2O <1 ppm
溅射头
3 × 2 in
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
设备特点
主要产品特点
-
手套箱腔体: 1200 × 740 × 900 mm
-
净化气氛: O2 <1 ppm; H2O <1 ppm
-
溅射头: 3 × 2 in
技术数据
技术规格
规格按系统分组，便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 手套箱腔体 | 1200 × 740 × 900 mm |
|---|---|
| 净化气氛 | O2 <1 ppm; H2O <1 ppm |
| 溅射头 | 3 × 2 in |
| 电源配置 | 2 路 500 W 直流 + 1 路 300 W 射频（13.56 MHz） |
| 沉积腔体 | Ø300 × 300 mm |
| 样品台 | 直径 140 mm；1–20 rpm；最高 500 °C |
规格可能随配置和定制要求变化，最终数据以确认后的报价为准。
图片展示三靶溅射模块，并非完整手套箱。直流/射频电源及手套箱集成配置需单独确认。
请与 LabSova 确认靶材、基片尺寸、供电、真空泵、冷却及气体要求。选配部件及实验室配套条件需另行确认。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家，报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
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