VTC-600-3HD-GB Glovebox-Integrated Three-Source Sputtering System
Three 2-inch sputtering sources combine with a purified glovebox for handling and coating air-sensitive materials.
- Configuración final confirmada antes de cotizar
- Personalización y accesorios revisados según la aplicación
- Embalaje de exportación y documentación disponibles bajo solicitud
Características clave del producto
-
Glovebox chamber: 1200 × 740 × 900 mm
-
Purified atmosphere: O2 <1 ppm; H2O <1 ppm
-
Sputtering heads: 3 × 2 in
Especificaciones técnicas
Las especificaciones se organizan por sistema para que diferentes tipos de equipos presenten los parámetros relevantes para su aplicación.
Key specifications
| Glovebox chamber | 1200 × 740 × 900 mm |
|---|---|
| Purified atmosphere | O2 <1 ppm; H2O <1 ppm |
| Sputtering heads | 3 × 2 in |
| Source configuration | 2 × 500 W DC + 1 × 300 W RF (13.56 MHz) |
| Deposition chamber | Ø300 × 300 mm |
| Sample stage | Ø140 mm; 1–20 rpm; up to 500 °C |
Las especificaciones pueden cambiar según configuración y personalización. Los datos finales están sujetos a la cotización confirmada.
The illustration shows the three-head sputtering module, not the complete glovebox. DC/RF supplies and glovebox integration require configuration confirmation.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Para compradores internacionales, la confirmación puede incluir configuración, accesorios, embalaje, documentos de exportación, fotos o videos de inspección y términos de envío.
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