VTC-600-3HD-GB Glovebox-Integrated Three-Source Sputtering System
Three 2-inch sputtering sources combine with a purified glovebox for handling and coating air-sensitive materials.
- Финальная конфигурация подтверждается до предложения
- Настройка и аксессуары проверяются по применению
- Экспортная упаковка и документация доступны по запросу
Ключевые характеристики продукта
-
Glovebox chamber: 1200 × 740 × 900 mm
-
Purified atmosphere: O2 <1 ppm; H2O <1 ppm
-
Sputtering heads: 3 × 2 in
Технические спецификации
Спецификации организованы по системам, чтобы разные типы оборудования показывали важные для применения параметры.
Key specifications
| Glovebox chamber | 1200 × 740 × 900 mm |
|---|---|
| Purified atmosphere | O2 <1 ppm; H2O <1 ppm |
| Sputtering heads | 3 × 2 in |
| Source configuration | 2 × 500 W DC + 1 × 300 W RF (13.56 MHz) |
| Deposition chamber | Ø300 × 300 mm |
| Sample stage | Ø140 mm; 1–20 rpm; up to 500 °C |
Спецификации могут изменяться в зависимости от конфигурации и настройки. Окончательные данные зависят от подтвержденного предложения.
The illustration shows the three-head sputtering module, not the complete glovebox. DC/RF supplies and glovebox integration require configuration confirmation.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Для международных покупателей подтверждение может включать конфигурацию, аксессуары, упаковку, экспортные документы, фото или видео инспекции и условия доставки.
Больше из этой категории
VTC-16-D Compact DC Sputter Coater for SEM Sample Preparation
Подробнее →
GSL-1100X-SPC-16C-LD Combined Sputter and Carbon Evaporation Coater
Подробнее →
VTC-16-3HD-LD Three-Target Rotary Plasma Sputtering Coater
Подробнее →
VTC-16-SM 250 W DC Magnetron Coater with Rotating Stage
Подробнее →
VTC-STX-XX Compact 2-Inch Magnetron Coater with DC or RF Options
Подробнее →
VTC-16-PW DC Magnetron Powder Coater with Vibrating Sample Cup
Подробнее →
VTC-3HD-VP Three-Head RF/DC Powder Coater with Gas Purification
Подробнее →