VTC-600-3HD-GB Glovebox-Integrated Three-Source Sputtering System
Three 2-inch sputtering sources combine with a purified glovebox for handling and coating air-sensitive materials.
- يتم تأكيد التكوين النهائي قبل عرض السعر
- تتم مراجعة التخصيص والملحقات حسب التطبيق
- تتوفر تعبئة التصدير والوثائق عند الطلب
ميزات المنتج الرئيسية
-
Glovebox chamber: 1200 × 740 × 900 mm
-
Purified atmosphere: O2 <1 ppm; H2O <1 ppm
-
Sputtering heads: 3 × 2 in
المواصفات الفنية
تُنظم المواصفات حسب النظام حتى تعرض أنواع المعدات المختلفة المعايير المهمة لتطبيقها.
Key specifications
| Glovebox chamber | 1200 × 740 × 900 mm |
|---|---|
| Purified atmosphere | O2 <1 ppm; H2O <1 ppm |
| Sputtering heads | 3 × 2 in |
| Source configuration | 2 × 500 W DC + 1 × 300 W RF (13.56 MHz) |
| Deposition chamber | Ø300 × 300 mm |
| Sample stage | Ø140 mm; 1–20 rpm; up to 500 °C |
قد تتغير المواصفات حسب التكوين والتخصيص. تخضع البيانات النهائية للعرض المؤكد.
The illustration shows the three-head sputtering module, not the complete glovebox. DC/RF supplies and glovebox integration require configuration confirmation.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
للمشترين الدوليين، يمكن أن يشمل تأكيد العرض التكوين والملحقات وطريقة التعبئة ومستندات التصدير وصور أو فيديو الفحص وشروط الشحن.
المزيد من هذه الفئة
VTC-16-D Compact DC Sputter Coater for SEM Sample Preparation
عرض التفاصيل →
GSL-1100X-SPC-16C-LD Combined Sputter and Carbon Evaporation Coater
عرض التفاصيل →
VTC-16-3HD-LD Three-Target Rotary Plasma Sputtering Coater
عرض التفاصيل →
VTC-16-SM 250 W DC Magnetron Coater with Rotating Stage
عرض التفاصيل →
VTC-STX-XX Compact 2-Inch Magnetron Coater with DC or RF Options
عرض التفاصيل →
VTC-16-PW DC Magnetron Powder Coater with Vibrating Sample Cup
عرض التفاصيل →
VTC-3HD-VP Three-Head RF/DC Powder Coater with Gas Purification
عرض التفاصيل →