معدات ترسيب الأغشية الرقيقة

VTC-3RF Three-Head RF Magnetron Coater with Heated Rotating Stage

Name: VTC-3RF Three-Head RF Magnetron Coater with Heated Rotating Stage | LabSova
Brand: LabSova
SKU: VTC-3RF

النموذجVTC-3RF

Three 1-inch sources allow sequential coating under vacuum, while the heated rotating stage supports thin-film process development.

Sputtering heads 3 × 1 in

Standard RF supply 100 W; 13.5 MHz; manual matching

Target distance 50–80 mm

طلب عرض سعر عرض المواصفات

يتم تأكيد التكوين النهائي قبل عرض السعر
تتم مراجعة التخصيص والملحقات حسب التطبيق
تتوفر تعبئة التصدير والوثائق عند الطلب

اتصال فني مباشر

Email [email protected] WhatsApp +86 15038179437 WeChat 195 2233 7956

ميزات المعدات

ميزات المنتج الرئيسية

Sputtering heads: 3 × 1 in
Standard RF supply: 100 W; 13.5 MHz; manual matching
Target distance: 50–80 mm

بيانات فنية

المواصفات الفنية

تُنظم المواصفات حسب النظام حتى تعرض أنواع المعدات المختلفة المعايير المهمة لتطبيقها.

Key specifications

Sputtering heads	3 × 1 in
Standard RF supply	100 W; 13.5 MHz; manual matching
Target distance	50–80 mm
Stage diameter	50 mm
Stage rotation	1–10 rpm
Stage heating limits	600 °C for ≤5 min; 500 °C for ≤2 h

قد تتغير المواصفات حسب التكوين والتخصيص. تخضع البيانات النهائية للعرض المؤكد.

اتصال فني مباشر

Email [email protected] WhatsApp +86 15038179437 WeChat 195 2233 7956

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.

استفسار المنتج