VTC-3RF Three-Head RF Magnetron Coater with Heated Rotating Stage
Three 1-inch sources allow sequential coating under vacuum, while the heated rotating stage supports thin-film process development.
- Configuração final confirmada antes da cotação
- Personalização e acessórios revisados pela aplicação
- Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Principais recursos do produto
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Sputtering heads: 3 × 1 in
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Standard RF supply: 100 W; 13.5 MHz; manual matching
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Target distance: 50–80 mm
Especificações técnicas
As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.
Key specifications
| Sputtering heads | 3 × 1 in |
|---|---|
| Standard RF supply | 100 W; 13.5 MHz; manual matching |
| Target distance | 50–80 mm |
| Stage diameter | 50 mm |
| Stage rotation | 1–10 rpm |
| Stage heating limits | 600 °C for ≤5 min; 500 °C for ≤2 h |
As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Para compradores internacionais, a confirmação pode incluir configuração, acessórios, embalagem, documentos de exportação, fotos ou vídeos de inspeção e termos de envio.
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