VTC-3RF Three-Head RF Magnetron Coater with Heated Rotating Stage
Three 1-inch sources allow sequential coating under vacuum, while the heated rotating stage supports thin-film process development.
- Configuration finale confirmée avant devis
- Personnalisation et accessoires étudiés selon l’application
- Emballage export et documentation disponibles sur demande
Principales caractéristiques
-
Sputtering heads: 3 × 1 in
-
Standard RF supply: 100 W; 13.5 MHz; manual matching
-
Target distance: 50–80 mm
Spécifications techniques
Les spécifications sont organisées par système afin de présenter les paramètres pertinents pour chaque équipement.
Key specifications
| Sputtering heads | 3 × 1 in |
|---|---|
| Standard RF supply | 100 W; 13.5 MHz; manual matching |
| Target distance | 50–80 mm |
| Stage diameter | 50 mm |
| Stage rotation | 1–10 rpm |
| Stage heating limits | 600 °C for ≤5 min; 500 °C for ≤2 h |
Les spécifications peuvent varier selon la configuration. Les données finales dépendent du devis confirmé.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Pour les acheteurs internationaux, la confirmation du devis peut inclure configuration, accessoires, emballage, documents export, photos ou vidéos d’inspection et conditions d’expédition.
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