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Équipements de dépôt de couches minces

VTC-STX-XX Compact 2-Inch Magnetron Coater with DC or RF Options

ModèleVTC-STX-XX

A compact quartz-chamber coating platform with a rotating specimen stage; select the DC or RF supply to suit the target material.

Power-source options 500 W DC or 300 W RF
Sputtering head 2 in; water cooled
Chamber inner size Ø150 × 250 mm
  • Configuration finale confirmée avant devis
  • Personnalisation et accessoires étudiés selon l’application
  • Emballage export et documentation disponibles sur demande
Caractéristiques de l’équipement

Principales caractéristiques

  • Power-source options: 500 W DC or 300 W RF

  • Sputtering head: 2 in; water cooled

  • Chamber inner size: Ø150 × 250 mm

Données techniques

Spécifications techniques

Les spécifications sont organisées par système afin de présenter les paramètres pertinents pour chaque équipement.

Key specifications

Power-source options 500 W DC or 300 W RF
Sputtering head 2 in; water cooled
Chamber inner size Ø150 × 250 mm
Sample stage diameter 50 mm
Stage rotation 1–10 rpm
Optional stage heater Up to 500 °C

Les spécifications peuvent varier selon la configuration. Les données finales dépendent du devis confirmé.

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.