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Dünnschichtbeschichtungsanlagen

VTC-STX-XX Compact 2-Inch Magnetron Coater with DC or RF Options

ModellVTC-STX-XX

A compact quartz-chamber coating platform with a rotating specimen stage; select the DC or RF supply to suit the target material.

Power-source options 500 W DC or 300 W RF
Sputtering head 2 in; water cooled
Chamber inner size Ø150 × 250 mm
  • Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
  • Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
  • Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Gerätemerkmale

Wichtige Produktmerkmale

  • Power-source options: 500 W DC or 300 W RF

  • Sputtering head: 2 in; water cooled

  • Chamber inner size: Ø150 × 250 mm

Technische Daten

Technische Spezifikationen

Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.

Key specifications

Power-source options 500 W DC or 300 W RF
Sputtering head 2 in; water cooled
Chamber inner size Ø150 × 250 mm
Sample stage diameter 50 mm
Stage rotation 1–10 rpm
Optional stage heater Up to 500 °C

Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.