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Dünnschichtbeschichtungsanlagen

VTC-16-SM 250 W DC Magnetron Coater with Rotating Stage

ModellVTC-16-SM

A water-cooled 2-inch magnetron source and rotating stage support laboratory metal-film deposition in a quartz chamber.

DC source rating 250 W; 1600 V; 150 mA max.
Chamber inner size Ø150 × 250 mm
Sputtering head 2 in; water cooled
  • Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
  • Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
  • Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Gerätemerkmale

Wichtige Produktmerkmale

  • DC source rating: 250 W; 1600 V; 150 mA max.

  • Chamber inner size: Ø150 × 250 mm

  • Sputtering head: 2 in; water cooled

Technische Daten

Technische Spezifikationen

Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.

Key specifications

DC source rating 250 W; 1600 V; 150 mA max.
Chamber inner size Ø150 × 250 mm
Sputtering head 2 in; water cooled
Stage rotation 0–5 rpm
Target distance 60–100 mm
Stage diameter 50 mm

Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.