薄膜成膜装置
VTC-16-SM 250 W DC Magnetron Coater with Rotating Stage
モデルVTC-16-SM
A water-cooled 2-inch magnetron source and rotating stage support laboratory metal-film deposition in a quartz chamber.
DC source rating
250 W; 1600 V; 150 mA max.
Chamber inner size
Ø150 × 250 mm
Sputtering head
2 in; water cooled
- 最終構成は見積前に確認
- 用途に応じてカスタムと付属品を確認
- 輸出梱包と書類は必要に応じて対応
設備の特徴
主な製品特徴
-
DC source rating: 250 W; 1600 V; 150 mA max.
-
Chamber inner size: Ø150 × 250 mm
-
Sputtering head: 2 in; water cooled
技術データ
技術仕様
仕様はシステム別に整理され、設備タイプごとに重要なパラメータを表示します。
Key specifications
| DC source rating | 250 W; 1600 V; 150 mA max. |
|---|---|
| Chamber inner size | Ø150 × 250 mm |
| Sputtering head | 2 in; water cooled |
| Stage rotation | 0–5 rpm |
| Target distance | 60–100 mm |
| Stage diameter | 50 mm |
仕様は構成やカスタム内容により変更される場合があります。最終データは確認済み見積に従います。
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
発注前に調達条件を確認できます。
要件を確認
海外購入者向けに、構成、付属品、梱包方法、輸出書類、検査写真または動画、出荷条件を見積確認に含められます。
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