薄膜成膜装置
GSL-1100X-SPC-16C-LD Combined Sputter and Carbon Evaporation Coater
モデルGSL-1100X-SPC-16C-LD
Separate sputtering and evaporation heads support conductive film preparation, with quartz chambers and a 45 mm coating area.
Sputtering output
1600 V DC; 50 mA max.
Evaporation output
10 V AC; 20 A max.
Quartz chambers
2 × Ø160 × 120 mm
- 最終構成は見積前に確認
- 用途に応じてカスタムと付属品を確認
- 輸出梱包と書類は必要に応じて対応
設備の特徴
主な製品特徴
-
Sputtering output: 1600 V DC; 50 mA max.
-
Evaporation output: 10 V AC; 20 A max.
-
Quartz chambers: 2 × Ø160 × 120 mm
技術データ
技術仕様
仕様はシステム別に整理され、設備タイプごとに重要なパラメータを表示します。
Key specifications
| Sputtering output | 1600 V DC; 50 mA max. |
|---|---|
| Evaporation output | 10 V AC; 20 A max. |
| Quartz chambers | 2 × Ø160 × 120 mm |
| Maximum coating diameter | 45 mm |
| Sample stage diameter | 50 mm |
| Dimensions | 300 × 400 × 400 mm |
仕様は構成やカスタム内容により変更される場合があります。最終データは確認済み見積に従います。
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
発注前に調達条件を確認できます。
要件を確認
海外購入者向けに、構成、付属品、梱包方法、輸出書類、検査写真または動画、出荷条件を見積確認に含められます。
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