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薄膜沉积设备

GSL-1100X-SPC-16C-LD 溅射与碳蒸发二合一镀膜仪

型号GSL-1100X-SPC-16C-LD

配置独立溅射头和蒸发头,采用石英腔体,可在直径 45 mm 区域制备导电薄膜。

溅射输出 1600 V DC; 50 mA max.
蒸发输出 10 V AC; 20 A max.
石英腔体 2 × Ø160 × 120 mm
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
设备特点

主要产品特点

  • 溅射输出: 1600 V DC; 50 mA max.

  • 蒸发输出: 10 V AC; 20 A max.

  • 石英腔体: 2 × Ø160 × 120 mm

技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

溅射输出 1600 V DC; 50 mA max.
蒸发输出 10 V AC; 20 A max.
石英腔体 2 × Ø160 × 120 mm
最大镀膜直径 45 mm
样品台直径 50 mm
外形尺寸 300 × 400 × 400 mm

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

请与 LabSova 确认靶材、基片尺寸、供电、真空泵、冷却及气体要求。选配部件及实验室配套条件需另行确认。