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薄膜沉积设备

VTC-16-PW 振动样品杯直流磁控粉体镀膜仪

型号VTC-16-PW

振动粉体杯使颗粒接触 2 英寸直流溅射源,用于小批量粉体表面镀膜研究。

直流源参数 250 W; 150 mA max.
靶基距 60–100 mm
建议粉体装量 1–5 mL
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
设备特点

主要产品特点

  • 直流源参数: 250 W; 150 mA max.

  • 靶基距: 60–100 mm

  • 建议粉体装量: 1–5 mL

技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

直流源参数 250 W; 150 mA max.
靶基距 60–100 mm
建议粉体装量 1–5 mL
建议粒径 1–1000 µm
振动电机转速 400–2000 rpm
腔体内部尺寸 Ø150 × 250 mm

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

请与 LabSova 确认靶材、基片尺寸、供电、真空泵、冷却及气体要求。选配部件及实验室配套条件需另行确认。