薄膜沉积设备
VTC-STX-XX 可选直流或射频源的小型磁控镀膜仪
型号VTC-STX-XX
小型石英腔体镀膜平台，配备旋转样品台，可根据靶材选择直流或射频电源。
电源选项
500 W 直流或 300 W 射频
溅射头
2 英寸；水冷
腔体内部尺寸
Ø150 × 250 mm
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
设备特点
主要产品特点
-
电源选项: 500 W 直流或 300 W 射频
-
溅射头: 2 英寸；水冷
-
腔体内部尺寸: Ø150 × 250 mm
技术数据
技术规格
规格按系统分组，便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 电源选项 | 500 W 直流或 300 W 射频 |
|---|---|
| 溅射头 | 2 英寸；水冷 |
| 腔体内部尺寸 | Ø150 × 250 mm |
| 样品台直径 | 50 mm |
| 样品台转速 | 1–10 rpm |
| 选配样品台加热 | 最高 500 °C |
规格可能随配置和定制要求变化，最终数据以确认后的报价为准。
请与 LabSova 确认靶材、基片尺寸、供电、真空泵、冷却及气体要求。选配部件及实验室配套条件需另行确认。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家，报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
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