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Equipamentos de deposição de filmes finos

VTC-STX-XX Compact 2-Inch Magnetron Coater with DC or RF Options

ModeloVTC-STX-XX

A compact quartz-chamber coating platform with a rotating specimen stage; select the DC or RF supply to suit the target material.

Power-source options 500 W DC or 300 W RF
Sputtering head 2 in; water cooled
Chamber inner size Ø150 × 250 mm
  • Configuração final confirmada antes da cotação
  • Personalização e acessórios revisados pela aplicação
  • Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Recursos do equipamento

Principais recursos do produto

  • Power-source options: 500 W DC or 300 W RF

  • Sputtering head: 2 in; water cooled

  • Chamber inner size: Ø150 × 250 mm

Dados técnicos

Especificações técnicas

As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.

Key specifications

Power-source options 500 W DC or 300 W RF
Sputtering head 2 in; water cooled
Chamber inner size Ø150 × 250 mm
Sample stage diameter 50 mm
Stage rotation 1–10 rpm
Optional stage heater Up to 500 °C

As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.