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Equipamentos de deposição de filmes finos

VTC-3HD-VP Three-Head RF/DC Powder Coater with Gas Purification

ModeloVTC-3HD-VP

Three magnetron sources, a vibrating powder stage and gas purification support coating research with moisture-sensitive powders.

Sputtering heads 3 × 1 in; water cooled
Source ratings 500 W DC; 300 W RF at 13.56 MHz
Suggested powder volume 5–20 mL
  • Configuração final confirmada antes da cotação
  • Personalização e acessórios revisados pela aplicação
  • Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Recursos do equipamento

Principais recursos do produto

  • Sputtering heads: 3 × 1 in; water cooled

  • Source ratings: 500 W DC; 300 W RF at 13.56 MHz

  • Suggested powder volume: 5–20 mL

Dados técnicos

Especificações técnicas

As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.

Key specifications

Sputtering heads 3 × 1 in; water cooled
Source ratings 500 W DC; 300 W RF at 13.56 MHz
Suggested powder volume 5–20 mL
Suggested particle size 1–1000 µm
Chamber inner size Ø238 × 276 mm
Purified atmosphere O2 <1 ppm; H2O <1 ppm

As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.