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Equipamentos de deposição de filmes finos

VTC-16-SM 250 W DC Magnetron Coater with Rotating Stage

ModeloVTC-16-SM

A water-cooled 2-inch magnetron source and rotating stage support laboratory metal-film deposition in a quartz chamber.

DC source rating 250 W; 1600 V; 150 mA max.
Chamber inner size Ø150 × 250 mm
Sputtering head 2 in; water cooled
  • Configuração final confirmada antes da cotação
  • Personalização e acessórios revisados pela aplicação
  • Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Recursos do equipamento

Principais recursos do produto

  • DC source rating: 250 W; 1600 V; 150 mA max.

  • Chamber inner size: Ø150 × 250 mm

  • Sputtering head: 2 in; water cooled

Dados técnicos

Especificações técnicas

As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.

Key specifications

DC source rating 250 W; 1600 V; 150 mA max.
Chamber inner size Ø150 × 250 mm
Sputtering head 2 in; water cooled
Stage rotation 0–5 rpm
Target distance 60–100 mm
Stage diameter 50 mm

As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.