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Equipamentos de deposição de filmes finos

VTC-16-3HD-LD Three-Target Rotary Plasma Sputtering Coater

ModeloVTC-16-3HD-LD

Three coating positions and touchscreen control support successive metallic coatings without manually repositioning the sample.

Target size Ø47 mm; thickness ≤2.5 mm
Output 1600 V DC; 40 mA max.
Chamber inner size Ø150 × 150 mm
  • Configuração final confirmada antes da cotação
  • Personalização e acessórios revisados pela aplicação
  • Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Recursos do equipamento

Principais recursos do produto

  • Target size: Ø47 mm; thickness ≤2.5 mm

  • Output: 1600 V DC; 40 mA max.

  • Chamber inner size: Ø150 × 150 mm

Dados técnicos

Especificações técnicas

As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.

Key specifications

Target size Ø47 mm; thickness ≤2.5 mm
Output 1600 V DC; 40 mA max.
Chamber inner size Ø150 × 150 mm
Sample stage Ø50 mm; 3 coating positions
Target distance 25–40 mm
Optional stage heater Up to 500 °C

As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.