薄膜成膜装置
VTC-16-3HD-LD Three-Target Rotary Plasma Sputtering Coater
モデルVTC-16-3HD-LD
Three coating positions and touchscreen control support successive metallic coatings without manually repositioning the sample.
Target size
Ø47 mm; thickness ≤2.5 mm
Output
1600 V DC; 40 mA max.
Chamber inner size
Ø150 × 150 mm
- 最終構成は見積前に確認
- 用途に応じてカスタムと付属品を確認
- 輸出梱包と書類は必要に応じて対応
設備の特徴
主な製品特徴
-
Target size: Ø47 mm; thickness ≤2.5 mm
-
Output: 1600 V DC; 40 mA max.
-
Chamber inner size: Ø150 × 150 mm
技術データ
技術仕様
仕様はシステム別に整理され、設備タイプごとに重要なパラメータを表示します。
Key specifications
| Target size | Ø47 mm; thickness ≤2.5 mm |
|---|---|
| Output | 1600 V DC; 40 mA max. |
| Chamber inner size | Ø150 × 150 mm |
| Sample stage | Ø50 mm; 3 coating positions |
| Target distance | 25–40 mm |
| Optional stage heater | Up to 500 °C |
仕様は構成やカスタム内容により変更される場合があります。最終データは確認済み見積に従います。
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
発注前に調達条件を確認できます。
要件を確認
海外購入者向けに、構成、付属品、梱包方法、輸出書類、検査写真または動画、出荷条件を見積確認に含められます。
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