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薄膜沉积设备

VTC-16-D SEM 样品用小型直流溅射镀膜仪

型号VTC-16-D

适用于 SEM 样品贵金属导电膜制备的小型直流磁控镀膜仪,样品台高度可调。

溅射头直径 2 in
直流输出 500 V; 0–50 mA
镀膜时间 1–120 s
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
设备特点

主要产品特点

  • 溅射头直径: 2 in

  • 直流输出: 500 V; 0–50 mA

  • 镀膜时间: 1–120 s

技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

溅射头直径 2 in
直流输出 500 V; 0–50 mA
镀膜时间 1–120 s
腔体内部尺寸 Ø150 × 150 mm
样品台 直径 2 英寸;靶基距 25–70 mm
标称极限压力 约 1 Pa

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

请与 LabSova 确认靶材、基片尺寸、供电、真空泵、冷却及气体要求。选配部件及实验室配套条件需另行确认。