VTC-3RF Three-Head RF Magnetron Coater with Heated Rotating Stage
Three 1-inch sources allow sequential coating under vacuum, while the heated rotating stage supports thin-film process development.
- Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
- Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
- Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Wichtige Produktmerkmale
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Sputtering heads: 3 × 1 in
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Standard RF supply: 100 W; 13.5 MHz; manual matching
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Target distance: 50–80 mm
Technische Spezifikationen
Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.
Key specifications
| Sputtering heads | 3 × 1 in |
|---|---|
| Standard RF supply | 100 W; 13.5 MHz; manual matching |
| Target distance | 50–80 mm |
| Stage diameter | 50 mm |
| Stage rotation | 1–10 rpm |
| Stage heating limits | 600 °C for ≤5 min; 500 °C for ≤2 h |
Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Für internationale Käufer kann die Angebotsbestätigung Konfiguration, Zubehör, Verpackung, Exportdokumente, Inspektionsfotos oder -videos und Versandbedingungen umfassen.
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