VTC-3RF Three-Head RF Magnetron Coater with Heated Rotating Stage
Three 1-inch sources allow sequential coating under vacuum, while the heated rotating stage supports thin-film process development.
- Configuración final confirmada antes de cotizar
- Personalización y accesorios revisados según la aplicación
- Embalaje de exportación y documentación disponibles bajo solicitud
Características clave del producto
-
Sputtering heads: 3 × 1 in
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Standard RF supply: 100 W; 13.5 MHz; manual matching
-
Target distance: 50–80 mm
Especificaciones técnicas
Las especificaciones se organizan por sistema para que diferentes tipos de equipos presenten los parámetros relevantes para su aplicación.
Key specifications
| Sputtering heads | 3 × 1 in |
|---|---|
| Standard RF supply | 100 W; 13.5 MHz; manual matching |
| Target distance | 50–80 mm |
| Stage diameter | 50 mm |
| Stage rotation | 1–10 rpm |
| Stage heating limits | 600 °C for ≤5 min; 500 °C for ≤2 h |
Las especificaciones pueden cambiar según configuración y personalización. Los datos finales están sujetos a la cotización confirmada.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Para compradores internacionales, la confirmación puede incluir configuración, accesorios, embalaje, documentos de exportación, fotos o videos de inspección y términos de envío.
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