معدات ترسيب الأغشية الرقيقة

VTC-1RF-SPC Hybrid Magnetron Sputtering and Thermal Evaporation System

Name: VTC-1RF-SPC Hybrid Magnetron Sputtering and Thermal Evaporation System | LabSova
Brand: LabSova
SKU: VTC-1RF-SPC

النموذجVTC-1RF-SPC

A stainless-steel chamber combines a magnetron source and a temperature-controlled evaporation crucible for complementary deposition processes.

Sputtering source options 500 W DC or 300 W RF, 13.56 MHz

Maximum evaporation temperature 1350 °C

Chamber size Ø250 × 360 mm

طلب عرض سعر عرض المواصفات

يتم تأكيد التكوين النهائي قبل عرض السعر
تتم مراجعة التخصيص والملحقات حسب التطبيق
تتوفر تعبئة التصدير والوثائق عند الطلب

اتصال فني مباشر

Email [email protected] WhatsApp +86 15038179437 WeChat 195 2233 7956

ميزات المعدات

ميزات المنتج الرئيسية

Sputtering source options: 500 W DC or 300 W RF, 13.56 MHz
Maximum evaporation temperature: 1350 °C
Chamber size: Ø250 × 360 mm

بيانات فنية

المواصفات الفنية

تُنظم المواصفات حسب النظام حتى تعرض أنواع المعدات المختلفة المعايير المهمة لتطبيقها.

Key specifications

Sputtering source options	500 W DC or 300 W RF, 13.56 MHz
Maximum evaporation temperature	1350 °C
Chamber size	Ø250 × 360 mm
Sample stage diameter	100 mm
Maximum stage temperature	700 °C
Specified cold base pressure	8 × 10^-6 Torr

قد تتغير المواصفات حسب التكوين والتخصيص. تخضع البيانات النهائية للعرض المؤكد.

اتصال فني مباشر

Email [email protected] WhatsApp +86 15038179437 WeChat 195 2233 7956

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.

استفسار المنتج