VTC-600-3HD-GB Glovebox-Integrated Three-Source Sputtering System
Three 2-inch sputtering sources combine with a purified glovebox for handling and coating air-sensitive materials.
- Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
- Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
- Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Wichtige Produktmerkmale
-
Glovebox chamber: 1200 × 740 × 900 mm
-
Purified atmosphere: O2 <1 ppm; H2O <1 ppm
-
Sputtering heads: 3 × 2 in
Technische Spezifikationen
Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.
Key specifications
| Glovebox chamber | 1200 × 740 × 900 mm |
|---|---|
| Purified atmosphere | O2 <1 ppm; H2O <1 ppm |
| Sputtering heads | 3 × 2 in |
| Source configuration | 2 × 500 W DC + 1 × 300 W RF (13.56 MHz) |
| Deposition chamber | Ø300 × 300 mm |
| Sample stage | Ø140 mm; 1–20 rpm; up to 500 °C |
Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.
The illustration shows the three-head sputtering module, not the complete glovebox. DC/RF supplies and glovebox integration require configuration confirmation.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Für internationale Käufer kann die Angebotsbestätigung Konfiguration, Zubehör, Verpackung, Exportdokumente, Inspektionsfotos oder -videos und Versandbedingungen umfassen.
Mehr aus dieser Kategorie
VTC-16-D Compact DC Sputter Coater for SEM Sample Preparation
Details ansehen →
GSL-1100X-SPC-16C-LD Combined Sputter and Carbon Evaporation Coater
Details ansehen →
VTC-16-3HD-LD Three-Target Rotary Plasma Sputtering Coater
Details ansehen →
VTC-16-SM 250 W DC Magnetron Coater with Rotating Stage
Details ansehen →
VTC-STX-XX Compact 2-Inch Magnetron Coater with DC or RF Options
Details ansehen →
VTC-16-PW DC Magnetron Powder Coater with Vibrating Sample Cup
Details ansehen →
VTC-3HD-VP Three-Head RF/DC Powder Coater with Gas Purification
Details ansehen →