VTC-600-3HD-GB Glovebox-Integrated Three-Source Sputtering System
Three 2-inch sputtering sources combine with a purified glovebox for handling and coating air-sensitive materials.
- Configuration finale confirmée avant devis
- Personnalisation et accessoires étudiés selon l’application
- Emballage export et documentation disponibles sur demande
Principales caractéristiques
-
Glovebox chamber: 1200 × 740 × 900 mm
-
Purified atmosphere: O2 <1 ppm; H2O <1 ppm
-
Sputtering heads: 3 × 2 in
Spécifications techniques
Les spécifications sont organisées par système afin de présenter les paramètres pertinents pour chaque équipement.
Key specifications
| Glovebox chamber | 1200 × 740 × 900 mm |
|---|---|
| Purified atmosphere | O2 <1 ppm; H2O <1 ppm |
| Sputtering heads | 3 × 2 in |
| Source configuration | 2 × 500 W DC + 1 × 300 W RF (13.56 MHz) |
| Deposition chamber | Ø300 × 300 mm |
| Sample stage | Ø140 mm; 1–20 rpm; up to 500 °C |
Les spécifications peuvent varier selon la configuration. Les données finales dépendent du devis confirmé.
The illustration shows the three-head sputtering module, not the complete glovebox. DC/RF supplies and glovebox integration require configuration confirmation.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Pour les acheteurs internationaux, la confirmation du devis peut inclure configuration, accessoires, emballage, documents export, photos ou vidéos d’inspection et conditions d’expédition.
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