化学气相沉积（CVD）
MIST-1600-6 感应加热雾化 LPCVD 反应系统
型号MIST-1600-6
石英腔体沉积反应系统采用感应加热石墨样品台，用于最大 6 英寸晶圆的高温薄膜生长。
工作温度
工作温度 1500 °C；1600 °C 使用少于 1 小时
晶圆尺寸
最大 6 英寸
石英腔体
外径 216 × 高 500 mm
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
技术数据
技术规格
规格按系统分组，便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 工作温度 | 工作温度 1500 °C；1600 °C 使用少于 1 小时 |
|---|---|
| 晶圆尺寸 | 最大 6 英寸 |
| 石英腔体 | 外径 216 × 高 500 mm |
| 感应电源 | 15 kW; 30–100 kHz |
| 加热前驱体罐 | 100 mL；最高 150 °C |
规格可能随配置和定制要求变化，最终数据以确认后的报价为准。
产品详情
订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件，供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家，报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
相关设备
