化学气相沉积（CVD）
OTF-1200X-S-Mist 紧凑型超声雾化 CVD 炉
型号OTF-1200X-S-Mist
短温区雾化 CVD 平台，将超声前驱体雾化与石英管加热相结合，采用倾斜支架放置小尺寸基片。
最高温度
1200 °C
加热区
200 mm；均温区 60 mm
石英管
外径 60 × 内径 55 × 长 600 mm
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
技术数据
技术规格
规格按系统分组，便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 最高温度 | 1200 °C |
|---|---|
| 加热区 | 200 mm；均温区 60 mm |
| 石英管 | 外径 60 × 内径 55 × 长 600 mm |
| 雾化频率 | 1.7 MHz |
| 供液流量 | 0.004–70 mL/min |
| 基片配置 | 4 片 10 × 10 × 0.5 mm 基片；支架倾角 45° |
规格可能随配置和定制要求变化，最终数据以确认后的报价为准。
产品详情
订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件，供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家，报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
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