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化学气相沉积(CVD)

OTF1200XSF2 紧凑型双路气体 CVD 管式炉

型号OTF1200XSF2

用于实验室 CVD 和可控气氛加热的小型石英管炉,配置双路可调气流和 200 mm 加热段。

工作温度 连续 1100 °C;1200 °C 使用少于 1 小时
石英管 外径 50 × 内径 43 × 长 450 mm
加热区 200 mm;900 °C 时均温区 60 mm
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

工作温度 连续 1100 °C;1200 °C 使用少于 1 小时
石英管 外径 50 × 内径 43 × 长 450 mm
加热区 200 mm;900 °C 时均温区 60 mm
气体通道 2 路;各 16–100 mL/min
温控程序 30 段;±1 °C

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

产品详情

订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件,供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。