薄膜沉积设备
VTC2RFC 旋转摇摆式射频粉体溅射镀膜机
型号VTC2RFC
石英管通过旋转和摇摆使粉体翻动，内置叶片辅助混合，适合粉体射频溅射研究。
射频输出
5–300 W; 13.56 MHz
石英管长度
700 mm
石英管外径
中部 180 mm；两端 130 mm
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
设备特点
主要产品特点
-
射频输出: 5–300 W; 13.56 MHz
-
石英管长度: 700 mm
-
石英管外径: 中部 180 mm；两端 130 mm
技术数据
技术规格
规格按系统分组，便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 射频输出 | 5–300 W; 13.56 MHz |
|---|---|
| 石英管长度 | 700 mm |
| 石英管外径 | 中部 180 mm；两端 130 mm |
| 旋转速度 | 1–10 rpm |
| 摇摆角度 | ±4° |
| 冷却水流量 | 16 L/min |
规格可能随配置和定制要求变化，最终数据以确认后的报价为准。
请与 LabSova 确认靶材、基片尺寸、供电、真空泵、冷却及气体要求。选配部件及实验室配套条件需另行确认。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家，报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
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