薄膜成膜装置
VTC2RFC Rotary-Rocking RF Sputter Coater for Powders
モデルVTC2RFC
A rotating and rocking quartz tube agitates powders during RF sputtering, with internal blades to assist material mixing.
RF output
5–300 W; 13.56 MHz
Tube length
700 mm
Tube outer diameters
180 mm center; 130 mm ends
- 最終構成は見積前に確認
- 用途に応じてカスタムと付属品を確認
- 輸出梱包と書類は必要に応じて対応
設備の特徴
主な製品特徴
-
RF output: 5–300 W; 13.56 MHz
-
Tube length: 700 mm
-
Tube outer diameters: 180 mm center; 130 mm ends
技術データ
技術仕様
仕様はシステム別に整理され、設備タイプごとに重要なパラメータを表示します。
Key specifications
| RF output | 5–300 W; 13.56 MHz |
|---|---|
| Tube length | 700 mm |
| Tube outer diameters | 180 mm center; 130 mm ends |
| Rotation speed | 1–10 rpm |
| Rocking angle | ±4° |
| Cooling-water flow | 16 L/min |
仕様は構成やカスタム内容により変更される場合があります。最終データは確認済み見積に従います。
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
発注前に調達条件を確認できます。
要件を確認
海外購入者向けに、構成、付属品、梱包方法、輸出書類、検査写真または動画、出荷条件を見積確認に含められます。
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