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Équipements de dépôt de couches minces

VTC2RFC Rotary-Rocking RF Sputter Coater for Powders

ModèleVTC2RFC

A rotating and rocking quartz tube agitates powders during RF sputtering, with internal blades to assist material mixing.

RF output 5–300 W; 13.56 MHz
Tube length 700 mm
Tube outer diameters 180 mm center; 130 mm ends
  • Configuration finale confirmée avant devis
  • Personnalisation et accessoires étudiés selon l’application
  • Emballage export et documentation disponibles sur demande
Caractéristiques de l’équipement

Principales caractéristiques

  • RF output: 5–300 W; 13.56 MHz

  • Tube length: 700 mm

  • Tube outer diameters: 180 mm center; 130 mm ends

Données techniques

Spécifications techniques

Les spécifications sont organisées par système afin de présenter les paramètres pertinents pour chaque équipement.

Key specifications

RF output 5–300 W; 13.56 MHz
Tube length 700 mm
Tube outer diameters 180 mm center; 130 mm ends
Rotation speed 1–10 rpm
Rocking angle ±4°
Cooling-water flow 16 L/min

Les spécifications peuvent varier selon la configuration. Les données finales dépendent du devis confirmé.

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.