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Equipos de deposición de películas delgadas

VTC2RFC Rotary-Rocking RF Sputter Coater for Powders

ModeloVTC2RFC

A rotating and rocking quartz tube agitates powders during RF sputtering, with internal blades to assist material mixing.

RF output 5–300 W; 13.56 MHz
Tube length 700 mm
Tube outer diameters 180 mm center; 130 mm ends
  • Configuración final confirmada antes de cotizar
  • Personalización y accesorios revisados según la aplicación
  • Embalaje de exportación y documentación disponibles bajo solicitud
Características del equipo

Características clave del producto

  • RF output: 5–300 W; 13.56 MHz

  • Tube length: 700 mm

  • Tube outer diameters: 180 mm center; 130 mm ends

Datos técnicos

Especificaciones técnicas

Las especificaciones se organizan por sistema para que diferentes tipos de equipos presenten los parámetros relevantes para su aplicación.

Key specifications

RF output 5–300 W; 13.56 MHz
Tube length 700 mm
Tube outer diameters 180 mm center; 130 mm ends
Rotation speed 1–10 rpm
Rocking angle ±4°
Cooling-water flow 16 L/min

Las especificaciones pueden cambiar según configuración y personalización. Los datos finales están sujetos a la cotización confirmada.

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.