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Dünnschichtbeschichtungsanlagen

VTC2RFC Rotary-Rocking RF Sputter Coater for Powders

ModellVTC2RFC

A rotating and rocking quartz tube agitates powders during RF sputtering, with internal blades to assist material mixing.

RF output 5–300 W; 13.56 MHz
Tube length 700 mm
Tube outer diameters 180 mm center; 130 mm ends
  • Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
  • Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
  • Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Gerätemerkmale

Wichtige Produktmerkmale

  • RF output: 5–300 W; 13.56 MHz

  • Tube length: 700 mm

  • Tube outer diameters: 180 mm center; 130 mm ends

Technische Daten

Technische Spezifikationen

Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.

Key specifications

RF output 5–300 W; 13.56 MHz
Tube length 700 mm
Tube outer diameters 180 mm center; 130 mm ends
Rotation speed 1–10 rpm
Rocking angle ±4°
Cooling-water flow 16 L/min

Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.