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Equipamentos de deposição de filmes finos

VTC2RFC Rotary-Rocking RF Sputter Coater for Powders

ModeloVTC2RFC

A rotating and rocking quartz tube agitates powders during RF sputtering, with internal blades to assist material mixing.

RF output 5–300 W; 13.56 MHz
Tube length 700 mm
Tube outer diameters 180 mm center; 130 mm ends
  • Configuração final confirmada antes da cotação
  • Personalização e acessórios revisados pela aplicação
  • Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Recursos do equipamento

Principais recursos do produto

  • RF output: 5–300 W; 13.56 MHz

  • Tube length: 700 mm

  • Tube outer diameters: 180 mm center; 130 mm ends

Dados técnicos

Especificações técnicas

As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.

Key specifications

RF output 5–300 W; 13.56 MHz
Tube length 700 mm
Tube outer diameters 180 mm center; 130 mm ends
Rotation speed 1–10 rpm
Rocking angle ±4°
Cooling-water flow 16 L/min

As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.